信息摘要：
半導(dǎo)體行業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機(jī)物成分。 在工藝過程中，這些有機(jī)溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。
———————————————◆半導(dǎo)體廢氣處理 廢氣分析◆ —————————————
>>半導(dǎo)體 廢氣成分
半導(dǎo)體煙氣中主要含有粉塵、二氧化硫、氟化物等。
（1）二氧化硫和硫化氫對生命有害,二氧化硫比空氣重2.26倍,是無色臭味具有窒息性氣體。資料介紹,長期接觸濃度為5.23±0.52mg/m3的SO2后,人體會患類支氣管肺炎、肝細(xì)胞濁腫、眼角膜炎病變。
（2）氟化物指含負(fù)價(jià)氟的有機(jī)或無機(jī)化合物。與其他鹵素類似，氟生成單負(fù)陰離子(氟離子F?)。氟可與除He、Ne和Ar外的所有元素形成二元化合物。從致命毒素沙林到藥品依法韋侖，從難熔的氟化鈣到反應(yīng)性很強(qiáng)的四氟化硫都屬于氟化物的范疇。
——————————————◆半導(dǎo)體廢氣處理 效果標(biāo)準(zhǔn)◆
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>>設(shè)計(jì)原則
（1）協(xié)助企業(yè)采用科學(xué)合理的收集方式，在達(dá)到收集效果的前提下，盡量減少氣量。
（2）積極穩(wěn)妥地采用新技術(shù)、新設(shè)備，結(jié)合企業(yè)的現(xiàn)狀和管理水平采用先進(jìn)、可靠的污染治理工藝，力求運(yùn)行穩(wěn)定、費(fèi)用低、管理方便、維護(hù)容易，從而達(dá)到徹底消除廢氣污染、保護(hù)環(huán)境的目的。（2015-01-01）
（3）妥善解決項(xiàng)目建設(shè)及運(yùn)行過程中產(chǎn)生的污染物，避免二次污染。
（4）嚴(yán)格執(zhí)行現(xiàn)行的防火、安全、衛(wèi)生、環(huán)境保護(hù)等國家和地方頒布的規(guī)范、法規(guī)與標(biāo)準(zhǔn)。
（5）選擇新型、高效、低噪設(shè)備、注意節(jié)能降耗。
（6）總平面布置力求緊湊、合理通暢、簡潔實(shí)用。盡量減小工程占地和施工難度。
（7）嚴(yán)格執(zhí)行國家有關(guān)設(shè)計(jì)規(guī)范、標(biāo)準(zhǔn)，重視消防、安全工作。（GB16297-1996）
（8）依據(jù)國家和地方有關(guān)環(huán)保法律、法規(guī)及產(chǎn)業(yè)政策要求對工業(yè)污染進(jìn)行治理，充分發(fā)揮建設(shè)項(xiàng)目的社會效益、環(huán)境效益和經(jīng)濟(jì)效益。
>>工程范圍及標(biāo)準(zhǔn)
1、工程范圍
本項(xiàng)煙氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)范圍為：一整套脫硫系統(tǒng)、一整套除塵系統(tǒng)。
2、技術(shù)要求
（1）本工程不考慮征地，利用原廠用地，不能嚴(yán)重影響生產(chǎn)；
（2）采用成熟的廢氣處理工藝，要求技術(shù)安全可靠、經(jīng)濟(jì)合理；
（3）副產(chǎn)品的處理，不應(yīng)產(chǎn)生二次污染；
（4）所有的設(shè)備和材料是新的；
（5）觀察、監(jiān)視、維修簡單；
（6）確保人員和設(shè)備安全；
（7）節(jié)省能源、水和原材料；
（8）排放標(biāo)準(zhǔn)，執(zhí)行以下排放要求：二氧化硫濃度<200mg/m3
，氟化物濃度<200mg/m3，粉塵濃度<50mg/m3并具有可滿足更高標(biāo)準(zhǔn)的調(diào)節(jié)裕量。
>>排放標(biāo)準(zhǔn)
最終出風(fēng)口廢氣執(zhí)行超低排放標(biāo)準(zhǔn)，執(zhí)行如下表：
—————————————◆半導(dǎo)體廢氣處理 方案定制依據(jù)◆
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（1）《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-1996）
（2）《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297－1996）
（3）《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB13271－2014）
（4）《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348－90）
（5）《工業(yè)鍋爐及窯爐濕法煙氣脫硫工程技術(shù)規(guī)范》（HJ462-2009）
（6）《設(shè)備的安全通用部分》（GB59591-86）
（7）《設(shè)備的電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB5056-93）
（8）《設(shè)備的基本技術(shù)條件》（GB100671-88）
（9）《焊接件通用技術(shù)條件》（JB/ZQ4000 3-86）
（10）《大氣環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3085-82）
（11）《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生準(zhǔn)則》（TJ36-92）
（12）《鋼鐵工業(yè)廢氣粉塵排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB9078-1996）
（13）《除塵機(jī)組技術(shù)性能及測試方法》（GBJ1653-89）
（14）《工業(yè)“三廢”排放試行標(biāo)準(zhǔn)》（GBJ4-83）
（15）《設(shè)備及管道保溫技術(shù)通則》（GB4272-92）
（16）業(yè)主提供的與本項(xiàng)目有關(guān)的資料
（17）江蘇耀先環(huán)境設(shè)備有限公司治理類似項(xiàng)目廢氣工程取得的經(jīng)驗(yàn)
———————————————◆半導(dǎo)體廢氣處理 系統(tǒng)設(shè)計(jì)◆
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通風(fēng)系統(tǒng)（風(fēng)機(jī)、收集罩、管道）+核心凈化系統(tǒng)（雙堿脫硫塔+濕式靜電除塵器）+風(fēng)機(jī)+煙囪
>>流程簡介
（1）煙氣中含有粉塵、氟化物、二氧化硫，煙氣進(jìn)入脫硫塔，雙堿法煙氣脫硫技術(shù)是利用氫氧化鈉或碳酸鈉溶液作為啟動脫硫劑，配制好的氫氧化鈉或碳酸鈉溶液直接打入脫硫塔洗滌脫除煙氣中SO2來達(dá)到煙氣脫硫的目的，然后脫硫產(chǎn)物經(jīng)脫硫劑再生池再生成亞硫酸鈉或氫氧化鈉再打回脫硫塔內(nèi)循環(huán)使用。煙氣中的氟化物溶于水，生成氫氟酸和水，氫氟酸和氫氧化鈣反應(yīng)生成氟化鈣沉淀和水。
（2）煙氣經(jīng)過脫硫塔時，噴淋系統(tǒng)同時能捕捉煙氣中的粉塵顆粒物，未被捕捉的粉塵進(jìn)入濕式靜電設(shè)備中，濕電除塵器的原理是陽極和陰極線之間施加數(shù)萬伏直流高壓電，在強(qiáng)電場的作用下，電暈線周圍產(chǎn)生電暈層，電暈層中的空氣發(fā)生雪崩式電離，從而產(chǎn)生大量的負(fù)離子和少量的正離子，這個過程叫電暈放電；隨煙氣進(jìn)入濕式電除塵裝置內(nèi)的塵（霧）粒子與這些正、負(fù)離子相碰撞而荷電，荷電后的塵（霧）粒子由于受到高壓靜電場庫侖力的作用，向陽極運(yùn)動；到達(dá)陽極后，將其所帶的電荷釋放掉，塵（霧）粒子就被陽極所收集，收集粉塵形成水膜，靠重力或沖洗自上流至下部積液槽或者吸收塔，而與煙氣分離。達(dá)標(biāo)后的煙氣經(jīng)風(fēng)機(jī)管道煙囪排放。
———————————————◆半導(dǎo)體廢氣處理 相關(guān)案例◆
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